Описание
3 микрон кремния на основе диоксида кремния вилка палец золото электрод фотоэлектрический датчик обнаружения чип MEMS высокая точность 1. Подложка электрода-монокристаллический кремний, и кремнезем растет на поверхности кремниевой пластины толщиной 300 нм; Внешние размеры: 4 мм * 6 мм * 0,52 мм. 2. Ширина линии: 5 см, расстояние между линиями: 3 см, длина: 1,5 мм, поперечные Пальцы: 150 (300). 3. Структура металлического слоя: Cr/Au, с толщиной 10 нм и 100 нм соответственно; 4. Диапазон температур электрода:-150 C ~ 500 C; 5. Сопротивление электрода больше 100 t Ω (64%) при комнатной температуре, влажности; 6. В основном используется для различных химических, физических и медицинских датчиков с надежной производительностью и стабильным качеством.
'
Характеристики
- Материалы для самостоятельного изготовления
- Электрический