Описание
30 микрон однокристаллический кремниевый электрод для пальцев фотоэлектрический датчик влажности газа биосенсор чип MEMS высокая точность 1. Внешний размер: 4 мм * 6 мм * 0,52 мм. 2. Ширина линии: 30мкм, расстояние между линиями: 30мкм, длина: 1,5 мм, поперечные Пальцы: 20 (40). 3. Подложка электрода-монокристаллический кремний, и SiO2 растет на поверхности кремниевой пластины толщиной 300 нм; 4. Структура металлического слоя: Cr/Au, с толщиной 10 нм и 100 нм соответственно; 5. Диапазон температур электрода:-150 C ~ 500 C; 6. Сопротивление электрода больше 100 t Ω (64%) при комнатной температуре, влажности; 7. В основном используется для различных химических, физических и медицинских датчиков с надежной производительностью и стабильным качеством. 
\

\





'
Характеристики
- Материалы для самостоятельного изготовления
- Электрический