Описание
3 микрон один кристалл кремния вилка палец электрода влажности газа biosensor чип MEMS высокой точности
1. Внешний размер: 6,5 мм * 4 мм * 0,52 мм. 2. Ширина линии: 5мкм, расстояние между линиями: 3 см, длина пальца: 1,6 мм, логарифм поперечного пальца: 75 (150). 3. Подложка электрода-монокристаллический кремний, и кремнезем растет на поверхности кремниевой пластины толщиной 300 нм; 4. Структура металлического слоя: Ti/Au, с толщиной 30 нм и 100 нм соответственно; 5. Диапазон температур электрода:-150 C ~ 500 C; 6. Сопротивление электрода больше 100 t Ω (64%) при комнатной температуре, влажности; 7. В основном используется для различных химических, физических и медицинских датчиков с надежной производительностью и стабильным качеством.
Характеристики
- Материалы для самостоятельного изготовления
- Электрический
Сопутствующие товары
